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本篇文章將為大家講解主動隔振系統(tǒng)是如何工作的,應(yīng)用領(lǐng)域,以及有什么限制。由于主動隔振系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造業(yè)的大量應(yīng)用,因此得到了特別的關(guān)注。
一套復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)是否穩(wěn)定,在很大程度上取決于光學(xué)平臺和隔振腿的性能。隨著應(yīng)用的不斷豐富,光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計正變得愈發(fā)復(fù)雜,也為光路穩(wěn)定性帶來更大挑戰(zhàn)——如果安裝使用不正確,即使最完美的隔振方案也難以起到效果。
光學(xué)平臺中的重復(fù)定位精度同精密位移臺中概念不同,光學(xué)平臺的重復(fù)定位精度,是指在空載和在一定條件下加上負載并去除負載,光學(xué)平臺最終穩(wěn)定后的高度差。
光學(xué)平臺,又稱光學(xué)面包板、光學(xué)桌面、科學(xué)桌面、實驗平臺,供水平、穩(wěn)定的臺面,一般平臺都需要進行隔振等措施,保證其不受外界因素干擾,使科學(xué)實驗正常進行。目前來說,有主動與被動兩大類。而被動又有橡膠與氣浮兩大類。