產(chǎn)品特性：

三思減振THA系列主動減振器主要應用于一些對微振敏感的高端檢測設備，針對于AFM和SEM而開發(fā)的高端主動減振器。

高端儀器在進行高倍率的圖像處理和精密設備需要達到納米級精度時，都需要對微振進行一個有效的抑制，三思的6自由度主動減振就是一個很好的選擇，并能根據(jù)不同環(huán)境和工況的需求，提供有效的解決方案。



產(chǎn)品特點：

·輕巧便捷，安裝方便，無需氣源，接入電源即可使用
·手動/自動調(diào)節(jié)水平，操作簡便
·6自由度振動信號實時檢測，執(zhí)行器提供推力，主動衰減振幅

·實時監(jiān)控臺面振動

產(chǎn)品應用：

顯微鏡、光學設備、檢測設備等

傳遞率







規(guī)格參數(shù)








產(chǎn)品特點：

·THA2系列氣浮式主動減振，針對掃描電鏡、透射電鏡、掃描隧道顯微鏡等超精密設備而研發(fā)
·采用三思高端型氣浮減振器進行基礎隔振，即使在安裝現(xiàn)場環(huán)境有不規(guī)律的沖擊振動時，也能確保持續(xù)的振動穩(wěn)定性

·三思自研的THA主動減振系統(tǒng)，實現(xiàn)6自由度主動減振。前饋控制技術(shù)與反饋控制相結(jié)合，在低頻范圍提供出色的隔振效果

·可選電控自動調(diào)平系統(tǒng)或機械調(diào)平系統(tǒng)，自動調(diào)整水平，一鍵啟動減振

產(chǎn)品應用：

顯微鏡、光學設備、檢測設備等

傳遞率



規(guī)格參數(shù)

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)說明：

產(chǎn)品特性

1. 安裝方便，無需氣源，接入電源即可使用；

2. 手動調(diào)節(jié)水平，操作簡便；

3. 模塊化的主動減振器，可根據(jù)設備重量和尺寸，制作成各種平臺；

4. 6自由度振動信號實時檢測，執(zhí)行器提供推力，主動衰減振幅；

5. 實時監(jiān)控臺面振動。

產(chǎn)品應用

顯微鏡、光學設備、檢測設備等

產(chǎn)品特性

1. THA3系列氣浮式主動減振，為光刻機等運動平臺設備而研發(fā)，消減大質(zhì)量滑塊運動帶來的振動；

2. 采用三思高端型氣浮減振器進行基礎隔振，即使在安裝現(xiàn)場環(huán)境有不規(guī)律的沖擊振動時，也能確保持續(xù)的振動穩(wěn)定性；

3.三思自研的THA主動減振系統(tǒng)，實現(xiàn)6自由度主動減振。地面振動前饋與反饋控制相結(jié)合，提供出色的隔振效果；；

4. 運動前饋與速度反饋控制結(jié)合，有效消減平臺運動加速度，快速穩(wěn)定平臺振動；

5. 閥控氣動調(diào)平系統(tǒng)，可自由調(diào)整各減振器高度，一鍵啟動減振。

產(chǎn)品應用

半導體設備，及高精度、高速度加速度的精密運動平臺等

產(chǎn)品用途：

顯微鏡、光學設備、檢測設備等靜態(tài)設備或微動設備